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上海索倫水滴角測(cè)試儀有助于芯片半導(dǎo)體行業(yè)接觸角測(cè)量

2019-6-21 11:08:23
上海索倫從基本原理來(lái)看,水滴角測(cè)試儀通常是指以蒸餾水或超純水為探針液體,通過(guò)界面化學(xué)的基本分析原理,采用視頻光學(xué)方法測(cè)試相應(yīng)固體材料表面物理化學(xué)性質(zhì)的分析儀器。

它屬于界面化學(xué)分析儀器中最關(guān)鍵的儀器之一有助于芯片半導(dǎo)體行業(yè)接觸水滴角測(cè)試儀。

作為科諾中國(guó)的戰(zhàn)略投資公司,上海索倫在水滴角測(cè)試儀的開(kāi)發(fā)和技術(shù)方面處于領(lǐng)先地位。這一領(lǐng)先地位不是自封的,而是基于水滴角測(cè)試儀的基本原理和芯片半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)水滴角測(cè)試儀的特殊要求。

從基本原理來(lái)看,水滴角測(cè)試儀通常是指以蒸餾水或超純水為探針液體,通過(guò)界面化學(xué)的基本分析原理,采用視頻光學(xué)方法測(cè)試相應(yīng)固體材料表面物理化學(xué)性質(zhì)的分析儀器。

它屬于界面化學(xué)分析儀器中最關(guān)鍵的儀器之一目前,世界上主要的水滴角測(cè)試儀制造商包括來(lái)自德國(guó)、芬蘭、美國(guó)、日本、韓國(guó)和中國(guó)的水滴角測(cè)試儀。

然而,絕大多數(shù)水滴角測(cè)試儀是基于非常落后的圓、橢圓和切線法分析技術(shù),而不是界面化學(xué)。例如,中國(guó)儀器制造商(上海索倫除外)、日本和韓國(guó)儀器制造商、德國(guó)和芬蘭儀器制造商以及美國(guó)儀器制造商都采用了它們。

但是,這種符合的程度也不是很好,主要是由于固體材料的水滴角測(cè)試的特殊要求,對(duì)于水滴角測(cè)試儀器的的要求非常高,特別是對(duì)于半導(dǎo)體芯片行業(yè)的要求尤其高。如下圖所示,在頂視條件下的晶圓表面的水滴情況如下:

上海索倫水滴角測(cè)試儀有助于芯片半導(dǎo)體行業(yè)接觸角測(cè)量


通過(guò)如上圖片可以看出,

1、水滴接觸到的位置事實(shí)上并非完全均勻。有的地方有刻蝕位,有的沒(méi)有。


2、水滴接觸到的不同位置邊緣出現(xiàn)了明顯的曲線變化,如下圖所示:



3、水滴頂視(正視)時(shí)的形狀并非是正圓形。

因而,對(duì)于芯片、半導(dǎo)體或PCB板行業(yè)而言,水滴角測(cè)試儀除了要求必須是采用基本的Young-Laplace方程擬合技術(shù)而不是普通的量角器法的圓、橢圓或切線法之外,更為關(guān)鍵的技術(shù)點(diǎn)在于水滴角測(cè)量?jī)x必須是能夠準(zhǔn)確、精確、靈敏的分析出在側(cè)視條件下左、右角度的變化,同時(shí)要求樣品臺(tái)最好是可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn),即可以測(cè)試3D條件下的水滴角測(cè)值結(jié)果。

這是水滴角測(cè)試儀器應(yīng)用于芯片行業(yè)的要求,而液晶屏或手機(jī)膜行業(yè)通常測(cè)試固體表面是玻璃,會(huì)不會(huì)存在同樣問(wèn)題?


從上面的圖片可以看出,事實(shí)上手機(jī)屏幕也存在左右角度不一致或者在正對(duì)的情況下不能形成一個(gè)完美的圓的情況。手機(jī)行業(yè)對(duì)手機(jī)屏幕或手機(jī)薄膜、液晶顯示屏和有機(jī)發(fā)光二極管的設(shè)計(jì)要求是:一方面,這一方面說(shuō)明材料本身膜的鍍膜均勻度較好、材料更均勻,同時(shí)也說(shuō)明固體表面的清潔度更高。從這個(gè)方面來(lái)講,左、右水接觸角值對(duì)于液晶屏和手機(jī)膜的應(yīng)用的價(jià)值更大。而這些更要求水滴角測(cè)試儀必須符合:

1、水滴角測(cè)試儀必須采用Young-Laplace方程擬合技術(shù),解決重力對(duì)測(cè)值的影響,讓測(cè)值結(jié)果更符合界面化學(xué)原理,測(cè)試數(shù)據(jù)更為可信。

2、在水滴角測(cè)試儀采用Young-Laplace方程擬合技術(shù)的基礎(chǔ)上,必須要求能夠準(zhǔn)確的分析出左、右角度值的變化以及3D接觸角測(cè)值結(jié)果。這就要求水滴角測(cè)試儀必須采用阿莎算法(ADSA-RealDrop算法)。

目前,僅上海梭倫提供阿莎算法并擁有國(guó)家發(fā)明專利技術(shù)。作為中國(guó)的民營(yíng)企業(yè),在美國(guó)科諾的戰(zhàn)略投資下,上海梭倫已經(jīng)成長(zhǎng)為行業(yè)技術(shù)領(lǐng)先者。我們也愿為中國(guó)芯片行業(yè)、OLED行業(yè)的高精度測(cè)量水滴角值提供我們的力量。目前京東方、華為、瑞聲科技、環(huán)旭電子、士蘭微等公司已經(jīng)批量采購(gòu)上海梭倫的水滴角測(cè)試儀,在此,對(duì)于合作伙伴的支持,我們表示最誠(chéng)摯的謝意。我們也將繼續(xù)努力,不斷提供更符合用戶需求的水滴角測(cè)試儀。




超高溫、高壓或真空環(huán)境下液體、固體或熔液的界面張力和接觸角測(cè)值及其意義
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